Il silicano è un importante nuovo materiale prodotto, ampiamente utilizzato in display LCD a schermo piatto, semiconduttori, energia solare e altre industrie, con lo sviluppo di semiconduttori cinesi e altre industrie, la domanda nazionale di silicano cresce, ma poiché la tecnologia di produzione di silicano domestico è in fase iniziale, come analizzare la purezza del silicano è un argomento che ogni produttore deve affrontare.
È noto che l'analisi di gas ad alta purezza è un processo complesso e una delle difficoltà dell'analisi cromatografica; Il silicano, a causa delle sue proprietà fisiche, può essere più difficile da analizzare, non solo richiede rilevatori altamente sensibili, ma anche risolvere il problema della combustione dell'ossigeno del silicano.GC-9560-HG cromatografo di fase a gas ionizzato di elioSuperando numerose difficoltà tecniche nel processo di analisi del silicano, l'uso di rilevatori di ionizzazione dell'elio ad alta sensibilità, dotati di un sistema di campionamento dedicato del silicano, ha completato bene l'analisi delle impurità di livello ppb di tracce nel silicano.

Norme applicabili:

• GB/T 15909-2009 - Gas per l'industria elettronica

GC-9560-HG cromatografo di fase di elio ionizzato per analisi del silicanoPer il rilevamento di tracce di impurità nei gas industriali ad alta purezza e elettronica, la piccola concentrazione di rilevamento zui può raggiungere 5ppb. Lo strumento è dotato di un rilevatore di ionizzazione dell'elio ad alta sensibilità, utilizzando la tecnologia di taglio centrale di Huawei Inc.*, con valvole di ingresso di campioni dotate di valvole di ingresso con percorsi di protezione per il soffio; L'intera macchina utilizza un design multi-colonna, diverse colonne cromatografiche possono controllare la temperatura separatamente, zui ottimizza al massimo le condizioni di separazione e facilita il trattamento dell'invecchiamento delle diverse colonne cromatografiche, facilitando la manutenzione dello strumento; Lo strumento è dotato di un sistema di correzione automatica della pressione di campionamento per superare gli errori di analisi causati da diversi gas di base a causa del peso molecolare diverso.

Uno,GC-9560-HG cromatografo di fase di elio ionizzato per analisi del silicanoI vantaggi delle prestazioni:
L'industria del gas è l'industria di base dell'economia nazionale, è il "sangue" della produzione industriale, e con il rapido sviluppo dell'economia nazionale, la domanda di gas ad alta purezza e gas per l'industria elettronica è anche in rapida crescita. Il rilevamento delle sporche di impurità è un elemento chiave nella produzione di gas ad alta purezza e gas industriali per l'elettronica, mentre l'analisi delle sporche di impurità è stata una difficoltà nell'analisi cromatografica, i rilevatori cromatografici tradizionali come la conduzione termica non sono in grado di competere nell'analisi dei gas ad alta purezza.
Il rilevatore di ionizzazione dell'elio a scarica a impulso (PDHID) è un rilevatore universale ad alta sensibilità, con una risposta elevata a quasi tutti i composti inorganici e organici, particolarmente adatto per l'analisi di gas ad alta purezza, è in grado di rilevare fino a livelli di ng / g (ppb). Lo standard nazionale di recente sviluppo prevede che l'uso di rilevatori di ionizzazione dell'elio per sostituire i rilevatori originali come la conduttività termica, la cromatografia Huaei assume il compito principale di redazione dello standard nazionale "analisi del gas cromatografia di fase ionizzata dell'elio" è anche in fase di sviluppo, e presto sarà ufficialmente pubblicato e attuato.

Limite di rilevamento delle impurità gas in silicano (ppb) PDHID

Due,GC-9560-HGConfigurazione del sistema:

(1) GC-9560-HG cromatometro di fase di ionizzazione dell'elio (2) rilevatore di ionizzazione dell'elio (PDHID)

(3) sistema di taglio centrale (4) sistema elettronico di campionamento del gas

(5) Sistema di assorbimento e riduzione dell'ossigeno (6) Purificatore di elio

(7) valvola di riduzione della pressione dedicata al trasporto del gas (8) valvola di campionamento dedicata al volume senza morte
(9)Filtro gas trasportatore (10)Filtro campione

(11) Colonne cromatografiche (12) Gas standard
(13) Elio ad alta purezza (purezza > 99,999%) GC-9560V4.0

• Tecnologia di taglio centralizzata per l'analisi completa dei gas:
  Il cromatografo a gas ionizzato di elio GC-9560-HG utilizza la tecnologia di taglio e contrasoffiamento centrali multi-valvola multi-colonna, che consiste in una combinazione di più valvole a 10 passaggi di soffiamento e cromatografia multi-radice per controllare automaticamente i processi di campionamento, commutazione, taglio e contrasoffiamento attraverso la procedura temporale impostata dalla stazione di lavoro.

• Valvola a 10 passaggi
  GC-9560-HGLe valvole di spazzatura a dieci passaggi con via d'aria protetta sono tutte attrezzate per la produzione originale di importazione VICI, il piano della valvola è sempre nell'atmosfera di trasporto di gas, per evitare la penetrazione dell'aria nel campione durante l'ingresso e lo scambio, migliorando notevolmente la sensibilità e la precisione del rilevamento.
• Tecnologia della colonna cromatografica lavorata appositamente
  (1) Il tubo a colonna cromatografica utilizza materiale in acciaio inossidabile 316L e le pareti interne del tubo sono trattate con passivazione per prevenire l'assorbimento e il monossido di carbonio.
  (2) i portatori della colonna cromatografica sono stati trattati specialmente per evitare la generazione di problemi come l'assorbimento dell'ossigeno
  (3) la colonna pre-tagliata utilizza la cromatografia Huai per ottenere la tecnologia della colonna di riempimento in miniatura del paese, migliorando completamente la separazione del campione, tenendo conto della separazione, della stabilità e della rapidità

• Sistema di separazione multicolonna
  I campioni di gas hanno una varietà di forme e una varietà di impurità che richiedono una combinazione di diverse colonne cromatografiche per completare la separazione di tutte le impurità nel campione di gas. Poiché le temperature di funzionamento ottimali per le diverse colonne cromatografiche variano, è difficile trovare una temperatura di funzionamento ottimale per le diverse colonne cromatografiche nello stesso contenitore. Il GC-9560-HG è progettato con più colonne per risolvere efficacemente il problema delle diverse colonne cromatografiche che richiedono diverse temperature di funzionamento.
  Nella manutenzione quotidiana dello strumento, poiché la temperatura di attivazione delle colonne cromatografiche di diversi vettori come il setaccio molecolare 5A varia, se l'invecchiamento nello stesso contenitore della colonna richiede di rimuovere le colonne cromatografiche intoleranti alle alte temperature e quindi attivare separatamente. Il design multi-colonna del GC-9560-HG risolve efficacemente i problemi sopra descritti, con diverse colonne cromatografiche che possono essere attivate separatamente in diverse colonne, evitando la necessità di smontare le colonne cromatografiche durante la manutenzione quotidiana degli strumenti.
• Purificatore di elio HP-2:
  GC-9560-HGUtilizzando elio ad alta purezza come trasportatore, la purezza dell'elio influenza direttamente la sensibilità di rilevamento dell'intero strumento alle impurità. Le prove hanno dimostrato che la purezza del gas trasportatore utilizzato per l'analisi di gas ad alta purezza è almeno di un grado quantitativo superiore alla purezza di fondo del campione di gas.
  Il purificatore di elio di tipo HP-2 è un purificatore di gas esclusivo prodotto da VICI, il cui substrato di purificazione è una lega di assorbimento non volatile, la superficie delle particelle di assorbente ha uno strato di membrana di ossido che deve essere attivata mediante riscaldamento, il processo di attivazione deve essere completato in un ambiente vuoto o gas inerte, in modo da consentire all'elio di diffondersi liberamente tra loro, evitando la formazione di strati di purificazione dell'ossigeno e l'assorbimento di gas impuri. I materiali assorbenti HP offrono una buona stabilità termica e comprendono due intervalli di controllo della temperatura.
  Gasi purificabili: He, Ar, Ne, Kr, Xe, Rn
  Pressione di funzionamento: 1000psi
  Eliminazione del gas: H₂、 O₂、 N₂、 CO、CO₂、 CH₄、 H₂O、NO、NH₃、 CF₄Aspetta.
  Concentrazione residua: ≤10ppb
• Sistema di correzione della pressione
  Lo spettrometro tradizionale utilizza il metodo di controllo del flusso all'uscita della valvola di campionamento per controllare il volume di campionamento all'interno del tubo quantitativo, e i test hanno dimostrato che questo metodo ha un grande errore di analisi.
  Prendiamo l'esempio dell'analisi dell'idrogeno ad alta purezza: il gas standard è configurato per sei impurità nell'elio, mentre il gas campione è configurato per sei impurità nell'idrogeno; Poiché il peso molecolare dell'elio e dell'idrogeno è diverso, il volume di campionamento con lo stesso flusso non è *
  GC-9560-HGDotato di un sistema di correzione della pressione, per superare il problema della quantità di campionamento non * causata da differenze di gas di fondo, per garantire l'accuratezza dei dati.
• Valvola di campionamento senza volume morto
  GC-9560-HG è dotato di una valvola di campionamento dedicata senza volume morto, utilizzando un metodo di campionamento con protezione da soffiamento, evitando efficacemente il problema dei residui d'aria e riducendo l'impatto del processo di campionamento sull'analisi a un livello basso.
• Valvola di riduzione della pressione per il trasporto di gas
  La valvola di riduzione della pressione comune, a causa della presenza di un grande volume morto, influenza direttamente la purezza del gas trasportato dopo l'uscita della valvola di riduzione della pressione, causando un'alta concentrazione di impurità nel gas trasportato, influenzando così il limite di rilevamento dell'intero sistema.
  GC-9560-HG cromatografo di gas ionizzato di elio dotato di valvola di riduzione della pressione in acciaio inossidabile con funzione di regolazione della pressione a due livelli, migliora notevolmente la stabilità della pressione, garantisce la stabilità della linea di base, riduce anche il volume morto nel corpo della valvola e migliora ulteriormente la sensibilità del rilevamento.

GC-9560-HGGrafico degli effetti analitici: